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第31章 极紫外光的困难

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EUV光刻机,E为Extreme,代表着极紫外光,波长仅为13.5纳米,是目前地球上所知的光源中波长最短的光源。

从名字便可以知道,极紫外光的产生才是整个技术中最为核心的部分,镜头组的设计更至关重要了。

众所周知,镜片工艺,全球最强的就是蔡司、佳能、尼康,这里指的镜片并非是单反相机镜头那种规格,而是直径长达30厘米,打磨精度更高的镜片,光刻机镜头组便是由这些镜片组成。

一枚单反镜头最多可达15片,普通手机能用到3-7块片,而光刻机的镜头组高达30片,可以把它想象成放大10倍的单反镜头,其组装难度难以想象。

目前华国就长春光机所,京城国望光学实力最为领先,是否能生产出这种镜片还未知,但是组装工艺需要从头摸索这是肯定的。

研究小组成员施阅博士,便是来自国望光学,今年45岁,华国光学领域的顶级专家,在充分研究分析后给出的答案是3年内才能实现镜片生产,至于光源,以目前华国的技术,无法实现。

DUV光刻机,D为Deep,代表着深紫外光,波长193纳米。

极紫外光需要用深紫外光来击打从空中掉落的20微米液态金属锡,而且需要高频重复,每秒5万次,才能获得极紫外光,这尼玛比高射炮打蚊子还要难百倍。

搞定光源还只是第一步;

紫外光是极易被吸收的,通过击打金属锡产生的光束,还需通过特殊材质做成的镜片反射。

为什么需要反射呢,因为需要对光源进行采集诊断,判断光源是否合格,否则最后生产出来的晶圆损坏,那损失更是天价。(这又涉及到了光学检测了,暂时就不继续深入了,否则跑的人会更多,光刻机的检测比制造更为重要)

EUV光刻机中需要安装5-7块这样的镜片来完成反射,每次反射都会被镜片吸收大约20%的能量,最终获得的极紫外光仅有原来的2%左右能量。

这2%的能量显然是不够的,只能加大光源功率,这又带来两个问题,一是耗能,晶圆厂是耗电大户,核心原因便在这里。

第二个问题就是冷却问题,每次反射镜片都会吸收光能从而发热,光刻机需要降温,配备热效应仿真与实时校准功能,这便需要大量的水。

为了冷却光的高能反应,每秒钟还需要4000升的水,耗能大户可不仅仅是电。

一深入都是问题,只是每次多了解一些路阳就要被打击一次,连带着周怀义一起进入EMO模式,回申城的路上,两人都没过多交谈,各自思索起解决办法。

那些穿越自带十几台光刻机的爽文让路阳非常羡慕,但现实往往更加残酷;

芯片小组最终决定在申城松江工业园区建立华芯科技,从各地调配人才,快速把生产线建立起来,哪怕是套壳最快也需要3个月时间,这项任务被周怀义光荣认领。

回到申城,路阳终于接到了一则好消息,五菱的新能源车五菱mini下周上市,孙忠民亲自打电话邀请出席。

时隔半个多月,再次见到季一楠,脸上失去了以往的自信,皮肤也变得黯淡无光。

“一楠,这才多久没见,怎么变成这样了?”

两人互怼惯了,忽然这么贴心的关怀让季一楠有些发懵。

“还不是你跟老周两人都做甩手掌柜,我要不盯紧点,谁知道苏硅会变成什么样?现在效益上来,宗家那几个儿子又想过来作妖,怎么样?这次收获大吗?”

路阳不忍心打击她,安慰道:“这次是一大步,马上就要在松江那边落地光刻机生产线了,至于苏硅那边,你就别再管了,回头我会告诉宗仕刚,这特么是科技文,不是商战文,他媳妇儿子要是再出来,分分钟请他们进局子。”

季一楠先是一喜,接着又苦笑道:“那又是一大笔钱吧,没有上百亿,生产线建不起来的。”

果然是魔怔了,路阳心想,“这事交给老周去解决,你先养好身体,过几天跟我出席五菱那边的发布会,以后有新的任务交给你,华芯这边的账,有专业团队去做,你别再管了。”

“行吧,路阳,我感觉自己就是个拖后腿的,你跟老周忙成那样,我却连这点小事都做不好。”

“小事?上百亿的账务,要是没你,华芯发展不会这么快,这么多家公司快速整合,你是关键,如果不是接下来的事太过重要,我也不会让你去。”

季一楠一听,果然好转很多,“什么事情?”

路阳想起郎廷的安排,说道:“你带人去找大概10家左右的高校,成立半导体芯片研究课题,具体的名单与研究方向我回头发给你,这是工信部的安排,以华芯的名义跟高校展开合作,做好人才储备,以后你就改做猎头了,哈哈。”

“研发项目基金?”季一楠很聪明,一听便知道这其中的门道。

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