当然核心的就是光刻机，剩下的就是轨道机，刻蚀机，薄膜沉积设备，然后就是扩撒炉，氧化炉，CMP，离子注入机，湿法清洗，量测设备等。
晶圆厂设备成本就占总投资的70%以上，好在华芯的设备大部分都是自己制造的，这块可以控制到60%左右，但是大量的光刻胶、化学品，特种气体等原料就要占10%左右，水电能源占比6%左右，其他方面如人工成本，设备检修折旧之类的占比也很大。
所以晶圆厂一旦建好就不能停下来，这才是真正分分钟几百万的事。
好在来前应若涵给路阳补了课，要不然张老介绍的这些他还不一定能听得懂。
周怀义更是默默的拉远一定距离，大脑一片浆糊。
廖老笑道，“哈哈，看你们那是什么表情，不懂就问才是好学生，张老做这块快大半辈子了，你们才多久。”
张老跟着笑了起来，“也不用每一样都必须了解，前两天廖老带我看了苏硅的生产线，你们只需要把这里当成是那边的放大版就行了，现在唯一让我担心的是辅助设备的国产化是否能达得到要求，苏硅的设备除光刻机外，其他的大部分是改造而来。”
周怀义补充道，“蔡总在负责这方面的事，去年我们基本上把技术都分享出去了，大部分的设备都按照我们的要求生产出来，现在已经有部分设备在等待验证了。”
“光刻胶呢？”张老忽然问道。
路阳不好意思的挠了下头，“华芯九天这边正在加紧研发，现在我们还在使用以前的囤货。”
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