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萧子曰

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第488章 给我下单,辰芯微要12台!

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“就叫华辰EUV光刻机。”

江奕辰摆摆手,对取名这个想法,并没有特别大的兴趣。

只要能用,这机器就是好的。

要是不能用,叫啥高大上的名字,也是白搭。

EUV,那是极紫外线光刻机(Extreme Ultra-violet Lithography Machine)的简称。

这也算是在业界约定成俗,直接叫这个,大部分人都知道这是什么类的光刻机。

“先测试曝光。”

江奕辰扬手吩咐。

当然不需要他出手,这群激动的工程师们就嗷嗷叫地开启了光刻机。

因为是测试样机,并没有啥包装设计,没有必要的装饰板一个没有,裸机看起来,有些不好看。

但总体的设计语言很不错,看起来有种工业的美感。

这,就是工业上最大的一颗明珠了吧。

机器启动,黄小婷选择了测试程序。

双工件台也开始了运转,一片晶圆被送了上去,而后进入了光刻环节。

强大的光源系统,让激光碰上了气体,激发了极紫外线光。

复杂的透镜系统,过滤或是反射掉了那些不需要的光,留下了极为纯净且带有足够能量的极紫外光。

透过掩膜版,照射在了晶圆上面的光刻胶上。

随着光线的照射,光刻胶发生了化学反应,形成微小的电路图案。

这个过程需要极高的精度和稳定性,任何微小的偏差都可能导致整个芯片的失效。

江奕辰紧盯着监控屏幕,观察着每一个细节。

EUV光刻机的光刻性能直接关系到芯片的质量和产量,而芯片则是现代电子设备的核心。

“看起来不错。”

他微微点头,对工程师们说道,“等会看看测量结果。”

工程师们忍着心头的激动,依然稳步开展着光刻测试。

随着时间推移,测试逐渐进入了尾声。

晶圆被送出光刻机,进入了下一个环节。

工程师们轻手轻脚地夹着去做蚀刻等工艺。

在无尘车间,昏黄的灯光下,一切都顺利进行着。

紧接着就是沉积晶体管,随后便是检测。

孔连华非常熟悉地收集和分析数据,对光刻机的性能进行评估。

“结果如何?”江奕辰问道。

孔连华脸上洋溢着难以抑制的喜悦,“江总,结果非常出色!测试结果显示,光刻精度95%以上,线宽控制误差小于3纳米,这远远超过了行业平均水平的85%精度和5纳米误差!”

这么优秀?!

这个结果让江奕辰都有些愣神。

但穿着无尘服,戴着口罩的他并做不出更多的表情。

“当真?”

“千真万确!!”

“太好了!”黄小婷顿时跳了起来。

其他工程师们也纷纷热闹的开口,

“真是难以置信,我们做到了!”有人激动地挥舞拳头。

“江总太强了!”张工程师感慨道。

“江总,这下我们可以自信地说,我们打破了阿斯麦的光刻机封锁!”钟国栋的声音因激动而微微颤抖。

辰芯微这半年来,太难了!

被江奕辰用“秘法”拯救过的二手光刻机,在尽心尽责的工作了3个月后,很快出现了难以救回的问题,光源可以说报废了,透镜系统也几乎不可用。

原本的4条二手197nm干式光刻机生产线,一下子就停了3个。

不得已,辰芯微推掉了华威等企业的芯片生产订单。

仅仅是维持着星辰手机的璇玑芯片。

经过了一年多的扩大生产,星辰手机销量快步提升,特别是璇玑2代芯片,主频提升很大。

量大管饱之下,销量出奇的好。

可销售越好,肖雅婷就越头疼。

因为芯片开始紧缺了。

如果没有光刻机,他们的芯片代工厂,将成为了笑料。

不能生产高制程的芯片,难不成用国产的老旧光刻机,生产65nm的芯片?

主频不足1GHz?

璇玑大火炉芯片?

江奕辰虽然激动,但忍住了,“大伙别激动,慢慢来,继续测试。”

后续要测试的东西,多着呢!

比如,光刻机的长时间运行稳定性、光源系统的寿命测试、以及在不同工艺条件下的适应性等,都是接下来需要重点关注的测试项目。

毕竟,一次成功,并不能代表光刻机在所有情况下都能表现出色,只有经过全面而严格的测试,才能确保光刻机的性能稳定可靠。

“孔连华,你组织一下,制定一个详细的测试计划,我们要对光刻机的各项性能进行全面评估。”

江奕辰对孔连华说道。

孔连华点头应允。

接下来几天里,工程师们轮流值守,对光刻机进行了不间断的测试。

他们仔细观察光刻机的运行状态,记录下每一个数据,对光刻机的性能进行了全面而深入的评估。

在连续72小时的高强度运行测试中,光刻机保持了光源稳定性。

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