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第两百七十六章 发挥空间

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自由讨论环节一直持续到了晚上。

大家提出了很多想法,拿出了很多建议,但同时,也暴露了很多问题。

尤其是连接性和完整性的问题。

大家发现何成说的是对的,华夏想搞先进光刻机自研自产,最大的困境就是必须得全面自研,任何一个关键技术,关键设备或者关键零部件的缺失,都会导致华夏搞不出自己的光刻机。

所以连接性和完整性极其重要,华夏现在搞光刻机自研自产,绝对不能再单纯的使用模块化认领的老套路了。

毕竟以前没有瓦森纳协定,但现在有了。

时代完全不一样了。

所以各机构之间的协调合作,信息的及时互通,针对空白区域的及时填补等等,都变得极为重要。

好在大家现在已经有了这个意识,有了意识就会重视,有了重视,接下去就是解决问题。

虽然这个问题解决起来不容易。

何成用笔把一些重要的信息都认真的记录在了笔记本上,虽然会后微电子研究所这边就会给每个人发一份会议记录,但这是何成的习惯,能更好的帮自己标注重点。

临近午夜,只吃了一顿午饭的众人依旧精神饱满的继续着讨论。

而话题再一次回到了光源方案上。

大家现在主要倾向的依旧是尼康方案,从时代背景来说,这确实是很难改变的事情。

不过对于何成提出的浸入式光刻机方案,大家都表示会积极参与,这对何成来说这就够了。

反正从长远发展来说,尼康方案所涉及的技术以后都是用得上的。

只要后续华夏光刻机能起来,这就不是无用功。

无非现阶段的投入会更大,但何成有钱。

而在光源方案讨论的差不多快结束时,长光机所的代表汤建华突然走到何成身边问道,“何总怎么看EUV这个方向,怎么看EUV LLC联盟这个组织?”

何成发现一件事情,自从大家从内心接受了何成入局这件事情后,大家对于何成的态度就变得积极了起来。

很愿意跟何成交流,也很愿意倾听何成的意见。

而何成看着汤建华,眼神中不自觉的流露出了一些敬意。

是对汤建华的敬意,更是对长光机所的敬意。

在光学技术领域,华夏有很长一段空窗期,是王大恒创办的长光机所改变了这一情况。

1958年,长光机所自主研发了1秒精度大地测量经纬仪、1微米精度万能工具显微镜、大型石英摄谱仪、中型电子显微镜、中子晶体谱仪、地形测量用多倍航摄投影仪、光电测距仪、高温金相显微镜以及融化态光学玻璃。

可谓一举成名。

1961年,长光机所又研发生产了华夏第一台激光器。

华夏未来在激光领域的种种成就,从此生根发芽。

80年代,长光机所更是在军事领域解决了多项关键的光学技术瓶颈。

所以针对光刻机的自研,大家都默认长光机所将会担任极其重要的角色。

“我还是从未来倒退的逻辑,DUV的理论极限有人说是10nm,也有人说是7nm,但不管是10nm还是7nm,20年后基本上就到极限了。”

“所以光刻机的基础设计逻辑没有巨大变化的话,EUV确实大概率会成为未来的光源方案。”

汤建华微微皱眉,“如果要考虑EUV的未来发展需求,我们现在需要做的准备可能还得再全面一些。”

“弗劳恩霍夫光机所去年就开始搭建EUV镀膜机了,就在最近,弗劳恩霍夫光机所的EUV反射膜完成了反射率测试,获得56%的反射率。”

“等于我们现在的竞争对象,可能就已经不是1999年的尼康,而是尼康+整个EUV LLC联盟了。”

感受到汤建华的担忧,何成故意展现出了淡定的状态,“凡事都有利弊,EUV LLC联盟确实整合了各个领域的顶尖水平,但联盟这种东西往往最容易出岔子。”

“纵观历史,那些以少胜多,以弱胜强的经典战役中,强者一方往往都是联盟。”

“更何况,汤院士别忽略了一点,尼康可没加入EUV LLC联盟。”

“说起来,尼康为什么没有加入EUV LLC联盟?”汤建华好奇的问道,虽然他并不确定何成是否知道答案。

何成一声呵呵,“因为加入EUV LCC联盟的门槛很高啊。”

“门槛?尼康作为行业龙头,门槛还不够?”

何成摇了摇头,“EUV LLC联盟的门槛并不是技术门槛,而是诚意门槛,EUV LLC联盟那边对于想要加入的光刻机企业提出了多个要求,其中最重要的一个要求就是技术成果需要分享给米国。”

“这个条件摆在那里,尼康怎么可能加入?”

“别看霓虹国半导体产业这些年被米国搞得一片狼藉,但越是这样,他们内心越是不甘心。”

“霓虹人从来都不是什么善茬,我很认可一句话,霓虹人的礼貌,是他们给隐忍穿上的外衣。”

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