徐端颐率先开口,语气带着技术专家的执着:“我认为,当前最紧迫的,还是集中力量攻克光刻机整机!
尤其是提升对准精度和重复定位精度,这是核心指标。”
沈钊从生产和整合角度提出建议:“徐教授说得对,整机是目标。
但我们也要考虑到现实,很多关键零部件国内基础薄弱。
我建议,在攻关整机的同时,必须布局核心零部件的自主研发和配套,比如高精度导轨、丝杠、甚至光源系统,不能完全依赖外部,否则容易被卡脖子。”
45所的带头人结合自身经验补充道:“沈主任说得在理。
另外,我们45所之前搞样机,深感设备造出来后的技术服务和运维同样重要。
一台复杂设备,没有及时、专业的技术支持,很难在用户那里稳定运行。
我们应该尽早建立一支专业的技术服务团队。”
侯洵从光学领域提出看法:“除了整机和零部件,我觉得我们还可以利用自身在光学和精密机械方面的积累,尝试为一些有特殊需求的领域,比如航天、军工的某些特定芯片制造,提供定制化的设备或解决方案,这既能锻炼队伍,也能开辟新的市场。”
黄令仪则从工艺和产业链角度思考:“光刻机最终是为芯片制造服务的。
我们应该主动与下游的芯片制造厂,比如即将建设的华晶、华虹等,建立紧密的合作关系,了解他们的工艺需求,让我们的研发更贴近市场。
同时,也可以联动国内相关的材料、设备厂商,共同提升整个产业链的水平。”
大家你一言我一语,讨论非常热烈。
周陌认真听着,不时点头。
最后,王守武综合了大家的意见,总结道:“好,综合各位的建议,我们‘昆仑光刻’接下来的发展方向,可以初步明确为四点!”
他环视全场,声音沉稳有力:
“第一,聚焦光刻机核心零部件的配套研发,力争逐步实现自主可控!”
“第二,开展设备的技术服务与运维,建立专业支持团队,保障设备稳定运行!”
“第三,布局细分领域的定制化设备开发,满足特殊需求,锻炼技术队伍!”
“第四,积极推进产业链上下游的资源联动与合作,融入并带动国内半导体生态的发展!”
这四点方向,既瞄准了长远的整机目标,也兼顾了当前的现实基础和潜在市场,得到了在场所有人的一致认同。
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