刻蚀。
清洗。
离子注入。
薄膜沉积。
缺陷检测。
每过一个工段，现场负责人就报一串问题。
“这里卡在进口阀组。”
“这里卡在检测算法。”
“这里卡在高纯前驱体。”
“这里卡在老外的远程诊断。”
“这里的备件库存只够四十九天。”
“这个泵，如果原厂不续保，三个月后风险飙升。”
一圈走下来，所有人的脸都沉了。
不是某一个环节不行。
是每一步都被海外设备的影子按着脖子。
这些影子平时藏在采购合同、授权码、售后服务和技术协议里。
美国封锁令一落地，它们全伸出手，掐住了产线。
一个工艺负责人终于忍不住开口：
“许总，问题都在这儿。”
“您要批评就批评吧。”
“我们接受。”
许燃停下脚步，看着他。
“批评能让光刻机自己长出来？”
负责人一怔。
“不能。”
“那就别浪费时间。”
许燃转头看向秦立成。
“失败数据在哪里？”
秦立成愣了。
“成功批次数据在主控室，我马上让人调。”
“我要失败数据。”
“所有被否掉的路线。”
“所有没通过验收的实验。”
“所有被判定无商业价值的废案。”
“还有那些你们觉得拿出来丢人的东西。”
秦立成脸色变了。
“许总，那里面有些资料……年代久，结论也不成熟。”
“还有些项目当年闹过争议。”
许燃开口：
“烛龙不吃漂亮报表。”
“它要揭开伤疤。”
这句话落下，秦立成沉默了几秒。
随后，他深吸一口气。
“跟我来。”
一行人穿过两道权限门，进入厂区深处一间低温资料室。
这里没有产线的轰鸣。
只有除湿机轻轻响。
一排排金属柜立在墙边，柜门上贴着老旧标签。
【电子束直写中试记录】
【纳米压印模板损耗报告】
【干涉光刻周期图形偏差】
【等离子辅助沉积边缘异常】
【自组装图形转移试验组】
张怀民看见这些标签，眼神变了。
“这些项目，有些我当年听过。”
秦立成苦笑。
“听过的大多都黄了。”
“没听过的，黄得更快。”
一个资料管理员打开柜门，搬出几箱档案。
纸质报告、老硬盘、样片盒、工艺日志，一层层摊开。
许燃戴着手套，翻得极快。
电子束直写。
吞吐量死。
纳米压印。
模板颗粒污染，重复性崩。
干涉光刻。
周期结构能做，复杂逻辑图形难。
等离子辅助沉积。
边缘偏析不可控。
每一条看似死路，都埋着当年的血汗。
秦立成低声说：
“这些都是前辈们撞过的墙。”
“撞完以后，大家还是回到光刻主线。”
“因为那条路至少看得见产业链。”
许燃翻到第五个箱子时，手停住了。
档案封皮发黄，标题有些旧。
【嵌段共聚物自组装图形转移及亚十纳米线路探索】
作者：顾景山。
时间：十四年前。
旁边附着一张评审意见。
【良率低于2.7%，缺陷密度不可接受，图形长程有序性不足，不具备继续投入价值。】
秦立成看见这个名字，脸色变了一下。
张怀民也皱眉。
“顾景山？”
“我有印象。”
“当年在表面物理和聚合物自组装上挺有想法。”
秦立成叹气。
“他在我们厂待过一段时间。”
“这个项目停掉后，他申请过两次复议。”
“没批。”
“后来人就走了。”
周群翻出几张旧图。
“缺陷确实多。”
“岛状偏移、线宽漂移、边界断裂。”
“按传统工艺看，没法进产线。”
简瑶却没有急着下结论。
她把其中一张统计图放大，眉头微动。
“等一下。”
“这些岛状偏移，不是完全随机。”
许燃抬手。
“调A-17样片。”
秦立成一怔。
“您怎么知道有A-17？”
许燃指了指报告页脚。
“这批数据只写了十六片。”
“曲线里多了一组未编号统计。”
“它不在正文，只在附录坐标里露了一下。”
资料管理员连忙去翻冷藏样片柜。
几分钟后，一个老式样片盒被拿出来。
标签已经褪色。
【A-17】
许燃接过样片盒，递给周群。
“上便携诊断。”
周群立刻让工程师接入负折射边缘态显微模块。
老设备配新模块，界面闪了两次才稳定。
屏幕上，样片表面图形被放大。
坑坑洼洼。
缺陷一堆。
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！
喜欢镇国学神：从数学开始无敌请大家收藏：(m.zjsw.org)镇国学神：从数学开始无敌爪机书屋更新速度全网最快。